3次元白色光干渉型顕微鏡
ShareAid ID：2218
機器・設備導入：2020
掲載情報更新：2023/09/13
- 型式
- ContourGT-K
- メーカー
- Bruker社
- 製品情報URL
- キャンパス
- 伊都
- 設置場所
- ウエスト2号館 412号室
- 概要・性能・仕様
- 最大測定範囲（Z方向）...10ｍｍ（クローズドループ制御）
測定分解能（Z方向）...0.01nm
RMS再現性（PSIモード）...0.01nm
横分解能（最高）...0.38um（スパロー定期）, 0.13um（AcuityXR使用時）, 0.01um（NanoLens使用時）
段差正確性...＜0.75%
段差再現性...＜0.1%（1σ）
測定速度...47μｍ/秒（標準型CCD） - キーワード
- 白色干渉顕微鏡 3次元表面形状測定 表面粗さ計測
- 区分
- 表面分析装置
管理者情報
利用方法
- 学内者
- 担当者に連絡
- 学外者
- 担当者に連絡
- 利用資格・利用条件
- 取扱講習受講
九州大学 学術研究・産学官連携本部 機器共用促進支援室
〒819-0395 福岡市西区元岡744（伊都地区）
パブリック2号館 研究企画課内
電話：092-802-2115（内線：90-2115）
shareaid★airimaq.kyushu-u.ac.jp
※「★」は「@」と置き換えてください。
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