プラズマリアクター
ShareAid ID：2220
機器・設備導入：
掲載情報更新：2023/11/06
- 型式
- PR500
- メーカー
- ヤマト科学
- 製品情報URL
- キャンパス
- 伊都
- 設置場所
- ウエスト2号館 103号室
- 概要・性能・仕様
- フォトレジストの除去
- キーワード
- 区分
- 成膜・加工装置 理化学装置
管理者情報
利用方法
- 学内者
- 担当者に連絡
- 学外者
- 担当者に連絡
- 利用資格・利用条件
- 取扱講習受講
九州大学 学術研究・産学官連携本部 機器共用促進支援室
〒819-0395 福岡市西区元岡744（伊都地区）
パブリック2号館 研究企画課内
電話：092-802-2115（内線：90-2115）
shareaid★airimaq.kyushu-u.ac.jp
※「★」は「@」と置き換えてください。
〒819-0395 福岡市西区元岡744（伊都地区）
パブリック2号館 研究企画課内
電話：092-802-2115（内線：90-2115）
shareaid★airimaq.kyushu-u.ac.jp
※「★」は「@」と置き換えてください。