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ShareAid ID：2293

機器・設備導入：2009

掲載情報更新：2026/05/20

型式: SPQ-203T
メーカー: アルバック九州
製品情報URL
キャンパス: 筑紫
設置場所: オープンイノベーション棟第一CR
概要・性能・仕様: カソード: 2インチRFマグネトロン 1基
試料サイズ: 最大２インチ
試料温度: 最大650℃, 到達真空度: 1×10-7 Torr (室温)
使用ガス: Ar, O2
キーワード
区分: 成膜・加工装置

半導体・デバイスエコシステム研究教育センター

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