ShareAid

利用方法

学内者

担当者に連絡

学外者

担当者に連絡

ShareAid ID：2297

機器・設備導入：

掲載情報更新：2026/05/20

型式: UL-400EB
メーカー: アネルバ
製品情報URL
キャンパス: 筑紫
設置場所: オープンイノベーション棟　１階
概要・性能・仕様: 到達真空度(vacuum): <1×10-5 Pa (室温, RT)
成膜方式(method): 電子ビーム(electron beam), 抵抗加熱(resistive heating)
キーワード
区分: 成膜・加工装置

半導体・デバイスエコシステム研究教育センター

センター事務室

office★csede.oi.kyushu-u.ac.jp
※「★」は「@」と置き換えてください。

九州大学　学術研究・産学官連携本部学術研究推進室
〒819-0395 福岡市西区元岡744
（伊都地区）パブリック2号館