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ShareAid ID：2298

機器・設備導入：

掲載情報更新：2026/05/20

型式: KTF-773N
メーカー: 光洋サーモシステム
製品情報URL
キャンパス: 筑紫
設置場所: オープンイノベーション棟　１階
概要・性能・仕様: 最高温度(max. temp.): 1000℃
試料サイズ(sample size): 2 inch
処理雰囲気(annealing atomosphere): N2, O2, forming gas(Ar/H2)
キーワード
区分: 成膜・加工装置

半導体・デバイスエコシステム研究教育センター

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