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ShareAid ID：2304

機器・設備導入：

掲載情報更新：2026/05/20

型式: MARY-102
メーカー: ファイブラボ
製品情報URL
キャンパス: 筑紫
設置場所: オープンイノベーション棟　１階
概要・性能・仕様: 光源(light soucre): 0.8mW He-Neレーザー
ビーム径: 0.8mmØ
測定精度: Δ:±0.01°, Ψ:±0.01°, 面内分布可
キーワード
区分: 表面分析装置

半導体・デバイスエコシステム研究教育センター

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