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ShareAid ID：2291

機器・設備導入：

掲載情報更新：2026/05/20

型式: 3400UD
メーカー: アフティ
製品情報URL
キャンパス: 筑紫
設置場所: オープンイノベーション棟　１階
概要・性能・仕様: 固体ソースでECR（Electron Cyclotron Resonance）反応成膜
マイクロ波導入: 分岐結合型, 試料サイズ: 最大4インチ
試料温度: 最大400℃, 到達真空度: 2×10-7 Torr(室温)
使用ガス:Ar, Kr, Xe, O2, N2
キーワード
区分: 成膜・加工装置

半導体・デバイスエコシステム研究教育センター

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